В современных условиях развития производства вакуумные насосы низкой стоимости широко применяются как в форме отдельных агрегатов, так и в составе различного оборудования. Под подобной системой традиционно понимается комплекс:
Вакуумная система, объединенная с элементами, инициирующими ее действие, называется вакуумной установкой. Если она исполняется в виде единой конструкции, то носит название вакуумного агрегата. Опорожнение, наполнение и тренировку изделий электровакуумной техники осуществляют при помощи установок, называемых откачными постами.
В настоящее время вакуумные сосуды изготавливаются из высокопрочных материалов. Они снабжаются системами регулирования давления, элементами безопасности и клапанами для стравливания парогазовых смесей.
Принято выделять следующие виды емкостей:
Залогом надежных и эффективных решений в области обеспечения технологического вакуума является использование высококачественных трубопроводных систем. Под вакуумным трубопроводом понимается технологическое сооружение, предназначенное для перемещения разреженного газа. Трубопроводы, служащие для подсоединения к форвакуумному насосному оборудованию, называются форвакуумными. В целях опорожнения емкостей без помощи высоковакуумных насосов покупают труборасширители и байпасные трубопроводы.
Современные технологии предъявляют исключительно высокие требования к особенностям конструкций и качеству изготовления компонентов вакуумных систем. В качестве отдельных элементов выделяют изделия, сборочные единицы либо детали, обеспечивающие осуществление определенных системных задач. Одним из ключевых свойств этих элементов является условный проход, под которым понимается диаметр проходного сечения, характеризующий присоединительные размеры в соответствии с техническими стандартами.
Присоединение нескольких вакуумных сосудов осуществляется при помощи гребенки, выполняемой в форме трубы с отводами. Для быстрой изоляции зон, в которых зафиксированы прорывы атмосферного воздуха, применяются специальные защитные устройства для вакуумной системы. Объединение отдельных компонентов системы обеспечивается при помощи вакуумных шлюзов, отличительными чертами которых являются гибкость и устойчивость к деформациям, возникающим вследствие атмосферного воздействия.
В целях снижения парциального давления газопаровых смесей созданы эффективные ловушки, позволяющие снизить объемы проникновения компонентов смесей из одних элементов системы в другие. На физическом принципе конденсации газов и паров основывается функционирование конденсационных ловушек. В настоящее время предлагается широкий спектр высоковакуумных, форвакуумных, термоэлектрических, азотноводяных, водяных, фреоновых конденсационных изделий. Доказали свою высокую производительность сорбционные ловушки, действие которых базируется на хемосорбции газопаровых смесей пористыми сорбентами. Наиболее популярными из них признаются современные модели угольных, цеолитовых и силикагелевых сорбционных ловушек. Особо востребованными у потребителей являются вакуумные ионные ловушки, обеспечивающие удаление отдельных ингредиентов парогазовых смесей за счет ионизации.
Ключевыми элементами вакуумной системы являются маслоотделители, обеспечивающие сепарацию парогазовых смесей от масла, и маслоочистители, позволяющие удалять из вакуумных масел загрязнения. Для обеспечения очистки от масляного тумана отработанных выхлопных газов разработаны специальные фильтры, устанавливаемые на стороне выхода вакуумного насосного оборудования с масляным уплотнением.
Эффективное функционирование вакуумных систем невозможно без использования уплотнителей. Наиболее популярными из них являются:
Постоянное увеличение энергоэффективности эксплуатации вакуумных систем достигается при помощи специальной высокотехнологичной арматуры: