Спиральный вакуумный насос https://vacma.ru/company/news/nasosy-nvsp-v-reestre-minpromtorga/ — это высокотехнологичное безмасляное оборудование объемного действия, предназначенное для получения чистого вакуума. В основе конструкции лежит использование двух спиралей (инволют): неподвижной и подвижной, которые вложены одна в другую.
Процесс создания вакуума основан на орбитальном движении подвижной спирали. В процессе вращения между витками спиралей образуются изолированные серповидные камеры переменного объема. Газ всасывается на периферии, постепенно перемещается к центру в процессе уменьшения объема камеры и затем вытесняется через центральный выпускной канал. Это обеспечивает непрерывный, практически пульсационный поток откачки (Input → Process → Output).
Основными элементами насоса являются корпус, неподвижная спираль, подвижная спираль и эксцентриковый привод. Ключевой особенностью конструкции является отсутствие механического контакта между поверхностями спиралей. Уплотнение камер достигается за счет специальных тефлоновых (PTFE) наконечников на витках спирали. Отсутствие трения между металлическими частями исключает износ, необходимость в смазке и риск загрязнения вакуумной среды парами масла.

Поскольку в камере сжатия отсутствуют масла или другие рабочие жидкости, спиральные насосы исключают риск обратной диффузии углеводородов. Это делает их идеальным решением для процессов, где чистота вакуума является критическим параметром качества конечного продукта.
Спиральная конструкция обеспечивает плавное сжатие газа без резких перепадов давления, что минимизирует вибрации. В сравнении с поршневыми или роторными аналогами, спиральные насосы работают значительно тише и потребляют меньше электроэнергии при достижении предельного остаточного давления.
Минимальное количество подвижных частей и отсутствие системы подачи масла существенно упрощают конструкцию. Интервалы между техническим обслуживанием у таких насосов значительно дольше, а необходимость в текущем ремонте сведена к минимуму.
Используются в масс-спектрометрах, электронных микроскопах и системах лазерной абляции, где требуется стабильный безмасляный форвакуум для работы высоковакуумных систем.
Незаменимы в процессах нанесения тонких пленок, травления и вакуумной упаковки кремниевых пластин, где недопустимо даже микроскопическое загрязнение поверхностей.
Применяются в стерилизаторах, сублимационных сушилках и другом оборудовании, требующем соблюдения высоких санитарных норм и исключения контакта продукта с нефтепродуктами.
Главное отличие — наличие масла. Пластинчато-роторные насосы требуют масляной ванны для уплотнения и смазки лопаток, что делает их дешевле, но создает риск загрязнения системы парами масла. Спиральные насосы полностью исключают этот риск, выигрывая по экологичности и чистоте процесса.
Спиральный насос следует выбирать, если:
Основной расходный элемент — уплотнительные наконечники спиралей. Регламентная замена обычно проводится раз в 8000–12000 часов работы, в зависимости от интенсивности нагрузки и состава откачиваемого газа.